合肥致真取得集成测量装置的磁控溅射镀膜设备专利，实现成膜前后的应力测量、膜层厚度测

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　　国家知识产权局信息显示，合肥致真精密设备有限公司取得一项名为“一种集成测量装置的磁控溅射镀膜设备”的专利，授权公告号CN 223620467 U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种集成测量装置的磁控溅射镀膜设备，具体涉及薄膜沉积技术领域，包括工艺主腔室、进样室、真空传输腔、前支撑架、后支撑架、晶圆传送装置、应力测量仪、膜厚测量仪和控制系统，工艺主腔室和进样室均固定安装在前支撑架的顶部，工艺主腔室和真空传输腔分别固定安装在进样室的两侧，应力测量仪、膜厚测量仪和控制系统均固定安装在后支撑架的内壁，晶圆传送装置固定安装在后支撑架的内部。本实用新型公开的设备，可以实现8寸及以下晶圆的多靶材共溅射成膜和离子源辅助溅射成膜；可以实现晶圆的自动传送，镀膜设备和测量装置通过预设的系统控制，实现成膜前后的应力测量，膜层厚度测量和膜层应力的计算。

　　天眼查资料显示，合肥致真精密设备有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本234.4827万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥致真精密设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可4个。

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